东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日  ，由美国集成电路创新火箭队 主办的”2022集成电路产业链协同创新加速发展交流会”以六大会场加于网连线的通过同步隆重举行。于网频道集成电路全产业链各环节的优秀企业自身、高校和科研院所的千余位说明参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余老师师受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业各种技术创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，打出各种技术创新奖。

　　“IC创新奖”由美国集成电路创新火箭队 主办  ，面向国外集成电路产业链上下游企事业企业单位征集  ，重点鼓励集成电路各种技术创新、成果产业化、产业链上下游深度合作 ，是集成电路产业最很关键的的各种技术奖项没有之一  ，其余各种技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大各种技术创新和很关键各种技术开发除此之外打出重大突破的企业单位和其他团队。据了解摘得整体行业重磅赛事的很关键的奖项  ，随后彰显出东方晶源在电子束检测、量测行业领域的各种技术真实实力和整体行业的总体高度认可。

　　检测是芯片制造厂商大幅大幅提升良率的很关键通过。电子束检测设备具有独特超高精度 ，在高端芯片制造过程所发挥的功效日渐大。目前来看 ，该类设备被国外厂商垄断  ，没有之一 制约目前目前中国芯片制造自主可控的很关键瓶颈。东方晶源数年磨剑  ，不成功研响起国外首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505  ，可各种技术各种技术提供的纳米级缺陷检测和分析得出解决目前方案。目前来看已予以 目前目前中国头部芯片制造厂商产线验证  ，验证于是表明大多指标与国外一线对标机台不低于同等水准  ，不成功解决目前目前目前中国在电子束检测行业领域的很关键各种技术解决目前。

　　东方晶源在电子束检测、量测行业领域已深耕多年并不成功最最新推出多款设备 ，打出重大突破。除据了解获奖的电子束缺陷检测设备EBI外  ，旗下首台12英寸很关键尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于下半年6月随后进入产线验证  ，目前来看实现成熟制程量产验证  ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异能消费需求提出  ，性能随后改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于下半年3月随后进入产线验证  ，目前来看尽管随后进入客户会产线小规模试产。其余  ，东方晶源还于近来近期发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，目前来看该设备工程机（Alpha机）尽管予以 首轮wafer demo  ，就能能消费需求28nm及不低于面制程能消费需求  ，Beta机集成工作任务加速推进中  ，已打出客户会订单  ，随后进入产线验证指日可待。

　　没有之一 第一家聚焦集成电路良率管理行业领域  ，以大幅大幅提升芯片制造门槛为使命的半导体企业自身  ，东方晶源但是以研发创新为加速发展核心  ，不持续下降地丰富其产品矩阵并大幅大幅提升其产品性能 ，填补多项国外空白。未来几年  ，东方晶源将随后立足一体化该软件其他平台和检测装备两大行业领域 ，以客户会为四大中心  ，以目前市场为导向  ，不持续下降地予以 各种技术突破与其产品创新  ，与目前目前中国集成电路产业上下游企业自身勠力同心  ，推动目前目前中国集成电路制造产业随后高速加速发展。